{"id":1371,"date":"2021-12-29T13:36:22","date_gmt":"2021-12-29T13:36:22","guid":{"rendered":"https:\/\/novanta.com\/de\/precision-manufacturing\/resources\/whitepapers\/hochprazise-partikelmessung-mit-lasern\/"},"modified":"2026-09-02T14:26:48","modified_gmt":"2026-09-02T14:26:48","slug":"hochprazise-partikelmessung-mit-lasern","status":"publish","type":"novanta_tech_paper","link":"https:\/\/novanta.com\/de\/precision-manufacturing\/ressourcen\/whitepapers\/hochprazise-partikelmessung-mit-lasern\/","title":{"rendered":"Hochpr\u00e4zise Partikelmessung mit Lasern"},"content":{"rendered":"\n<h2 class=\"wp-block-heading\" id=\"h-technical-paper-overview\">\u00dcbersicht \u00fcber technische Beitr\u00e4ge<\/h2>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\" id=\"h-highly-accurate-particle-measuring-with-lasers\"><strong>Hochpr\u00e4zise Partikelmessung mit Lasern<\/strong><\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><em>Nicht die Leistung, sondern die Strahlstabilit\u00e4t entscheidet \u00fcber Fehlalarme bei Partikelz\u00e4hlern.<\/em><\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Bei der Herstellung von Halbleiterwafern ist die Reinheit von Chemikalien, K\u00fchl- und Reinigungsfl\u00fcssigkeiten kein \u201eNice-to-have\u201c \u2013 sie entscheidet \u00fcber Ausbeute oder Ausschuss. Eine \u00fcbersehene Verunreinigung f\u00fchrt zu einem Waferdefekt; ein falsch-positives Ergebnis l\u00f6st eine unn\u00f6tige Produktionsunterbrechung aus. Der Laser im Inneren jedes Partikelz\u00e4hlers bestimmt, ob das System eher zu Ausbeuteverlusten oder zu Produktionsstillst\u00e4nden f\u00fchrt.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Dieses technische Dokument von Laser Quantum (einer Marke von Novanta) erl\u00e4utert, wie die Partikelz\u00e4hlung in Ger\u00e4ten zur \u00dcberpr\u00fcfung der Fl\u00fcssigkeitsreinheit in der Halbleiterindustrie funktioniert \u2013 Laserstrahl durch die Durchflusszelle, durch Partikel gebeugtes Licht, das von einem CCD- oder Photodiodenarray um einen zentralen Strahlsenker herum erfasst wird \u2013 und warum die Laser \u201egem 532 nm\u201c und \u201eopus 532 nm\u201c (M\u00b2 nahe 1, stabile Ausrichtung, geringes Rauschen, luftgek\u00fchlt) Fehlalarme im 24\/7-Einsatz reduzieren.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\" id=\"h-key-takeaways-include\">Zu den wichtigsten Erkenntnissen geh\u00f6ren:<\/h2>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Warum die Genauigkeit der Strahlausrichtung und ein geringes Rauschen \u2013 und nicht die Rohleistung \u2013 die Falsch-Positiv-Rate bei Fl\u00fcssigkeitspartikelz\u00e4hlern bestimmen<\/li>\n\n\n\n<li>Wie sich das von Partikeln gebeugte Licht, das in ein CCD- oder Photodiodenarray eintritt, auf Partikelgr\u00f6\u00dfe und -anzahl abbildet<\/li>\n\n\n\n<li>Wann luftgek\u00fchlte Laser unverzichtbar sind: in Halbleiterfertigungsumgebungen, in denen eine Wasserk\u00fchlung nicht zul\u00e4ssig oder nicht realisierbar ist<\/li>\n\n\n\n<li>Was die Laser \u201egem 532 nm\u201c und \u201eopus 532 nm\u201c bieten: M\u00b2 nahe 1, integrierte Leistungsr\u00fcckkopplung, patentierte Resonatortechnologie<\/li>\n\n\n\n<li>Ein praktisches Integrationskonzept: kompakte Bauform, hoher Wirkungsgrad, zuverl\u00e4ssiger 24\/7-Betrieb mit langer Lebensdauer<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Laden Sie das vollst\u00e4ndige technische Dokument herunter, um mehr \u00fcber das optische Schema der Partikelz\u00e4hlung, die lasertechnischen Gr\u00fcnde f\u00fcr die Reduzierung von Fehlalarmen bei der Pr\u00fcfung der Reinheit von Halbleiterfl\u00fcssigkeiten sowie die Integrationsmerkmale (Luftk\u00fchlung, integrierte Leistungsr\u00fcckkopplung, kompakte Bauform) zu erfahren, die dar\u00fcber entscheiden, ob ein Partikelz\u00e4hler den Einsatz in der Produktion \u00fcbersteht oder zu einem Wartungsaufwand wird.<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>\u00dcbersicht \u00fcber technische Beitr\u00e4ge Hochpr\u00e4zise Partikelmessung mit Lasern Nicht die Leistung, sondern die Strahlstabilit\u00e4t entscheidet \u00fcber Fehlalarme bei Partikelz\u00e4hlern. 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