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Hochpräzise Partikelmessung mit Lasern
Nicht die Leistung, sondern die Strahlstabilität entscheidet über Fehlalarme bei Partikelzählern.
Bei der Herstellung von Halbleiterwafern ist die Reinheit von Chemikalien, Kühl- und Reinigungsflüssigkeiten kein „Nice-to-have“ – sie entscheidet über Ausbeute oder Ausschuss. Eine übersehene Verunreinigung führt zu einem Waferdefekt; ein falsch-positives Ergebnis löst eine unnötige Produktionsunterbrechung aus. Der Laser im Inneren jedes Partikelzählers bestimmt, ob das System eher zu Ausbeuteverlusten oder zu Produktionsstillständen führt.
Dieses technische Dokument von Laser Quantum (einer Marke von Novanta) erläutert, wie die Partikelzählung in Geräten zur Überprüfung der Flüssigkeitsreinheit in der Halbleiterindustrie funktioniert – Laserstrahl durch die Durchflusszelle, durch Partikel gebeugtes Licht, das von einem CCD- oder Photodiodenarray um einen zentralen Strahlsenker herum erfasst wird – und warum die Laser „gem 532 nm“ und „opus 532 nm“ (M² nahe 1, stabile Ausrichtung, geringes Rauschen, luftgekühlt) Fehlalarme im 24/7-Einsatz reduzieren.
Zu den wichtigsten Erkenntnissen gehören:
- Warum die Genauigkeit der Strahlausrichtung und ein geringes Rauschen – und nicht die Rohleistung – die Falsch-Positiv-Rate bei Flüssigkeitspartikelzählern bestimmen
- Wie sich das von Partikeln gebeugte Licht, das in ein CCD- oder Photodiodenarray eintritt, auf Partikelgröße und -anzahl abbildet
- Wann luftgekühlte Laser unverzichtbar sind: in Halbleiterfertigungsumgebungen, in denen eine Wasserkühlung nicht zulässig oder nicht realisierbar ist
- Was die Laser „gem 532 nm“ und „opus 532 nm“ bieten: M² nahe 1, integrierte Leistungsrückkopplung, patentierte Resonatortechnologie
- Ein praktisches Integrationskonzept: kompakte Bauform, hoher Wirkungsgrad, zuverlässiger 24/7-Betrieb mit langer Lebensdauer
Laden Sie das vollständige technische Dokument herunter, um mehr über das optische Schema der Partikelzählung, die lasertechnischen Gründe für die Reduzierung von Fehlalarmen bei der Prüfung der Reinheit von Halbleiterflüssigkeiten sowie die Integrationsmerkmale (Luftkühlung, integrierte Leistungsrückkopplung, kompakte Bauform) zu erfahren, die darüber entscheiden, ob ein Partikelzähler den Einsatz in der Produktion übersteht oder zu einem Wartungsaufwand wird.
